、气候监测、生物医药等范畴。特别是跟着航空航天的开展，分布式作为未来飞机体系故障和健康办理（PHM）的首要东西，对小量程表压压力传感器的需求不断添加。

  关于小量程压力传感器，首要参数即灵敏度和非线性度，一般是经过增大膜片面积和减小膜片厚度来进步传感器的灵敏度，但这会导致传感器非线性度增大。如安在确保非线性度的一起进步灵敏度是一个重要问题。

  据麦姆斯咨询报导，针对飞机供氧、液压、环控和燃油等体系故障猜测与健康办理对小量程压力传感器的严重需求，合肥工业大学许高斌教授团队规划了一种新式梁膜复合结构MEMS压阻式压力传感器。该传感器在-2 ~ 12 KPa的量程内，灵敏度可达21.801 mV/KPa，非线%，可用于航天航空等范畴对小量程压力进行准确丈量。相关研讨成果以“小量程高灵敏度压阻式表压压力传感器”为题宣布在《真空科学与技能学报》期刊上。

  在这项研讨工作中，研讨人员经过选用新式梁膜复合结构发明应力会集区域并下降膜片形变，在到达平衡传感器非线性度的一起进步了器材的灵敏度。在灵敏薄膜规划方面，选用了弧形膜和米字梁复合型结构，并经过弧形硅杯支撑，能够一起进步器材灵敏度和下降非线性度。

  仿真依据成果得出，结构优化不仅仅能够会集应力，一起也能添加膜片刚度。对各项尺度作比照和优化，经过ANSYS有限元分析仿真承认了适宜的压敏电阻方位，传感器在-2 ~ 12 KPa量程内的灵敏度为21.801 mV/KPa，非线 传感器膜片结构示意图

  在制造工艺方面，该传感器选用SOI晶圆作为衬底资料，能够方便地操控掺杂厚度。首要工艺流程包含热氧化成长二氧化硅薄膜、离子注入构成压敏电阻、磁控溅射制备金属互连、反应离子刻蚀构成米字梁结构、深反应离子刻蚀制备背腔以及阳极键合构成真空密封腔等工艺流程。

  综上所述，这项研讨工作根据MEMS工艺，开宣布一种新式梁膜复合结构的压阻式压力传感器。经过合理规划灵敏薄膜结构，优化压阻方位和制造工艺，完成了器材高灵敏度和杰出线性度的平衡。该传感器有望满意航天航空等范畴对小量程压力准确丈量的需求。

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