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半导体硅片查验测验规范汇总 涉气相色谱、二次离子质谱等多类仪器
来源:欧宝体育在线登录入口官网   上传时间:2023-12-26 04:06:35

  硅片职业是资金和技能密集型职业,独占度极高,现在前四厂商市场占有率占比超越80%,分别是硅元素是地壳中储量最丰厚的元素之一,以二氧化硅和硅酸盐的方式很多存在于沙子、岩石、矿藏中。硅从质料转变为半导体硅片要通过杂乱的进程:首要硅质料和碳源在高温下取得纯度约98%的冶金级硅,再经氯化、蒸馏和化学复原生成纯度高达99.999999999%的电子级多晶硅。半导体资料的电学特性对杂质浓度十分灵敏,而硅本身的导电性欠安,常通过掺杂硼、磷、砷和锑来准确操控其电阻率。一般,将掺杂后的多晶硅加热至熔点,然后用确认晶向的单晶硅触摸其外表,以直拉生长法生长出硅锭,硅锭通过金刚石切开、研磨、刻蚀、清洗、倒角、抛光等工艺,即加工成为半导体硅片。依据制作工艺分类,半导体硅片首要可大致分为抛光片、外延片、SOI 硅片等。依据半导体尺度分类,半导体硅片的尺度(直径)首要有 50mm(2 英寸)、75mm(3 英寸)、100mm(4 英寸)、150mm(6 英寸)、200mm(8 英寸)、 300mm(12英寸)等标准。现在硅片出产以8英寸和12英寸为主,其间8英寸硅片首要运用在于电子、通讯、核算、工业、轿车等范畴,而12英寸硅片多用于PC、平板、手机等范畴。

  在出产环节中,半导体硅片需求尽可能地削减晶体缺点,坚持极高的平整度与外表洁净度,以确保集成电路或半导体器材的可靠性。硅片检测要查看直径、厚度、曲折、翘曲、缺点、晶面、外表污染(有机物)、电阻率、晶面取向、氧碳含量、外表平整度和粗糙度、微量元素含量、反射率等。运用到的仪器有测厚仪、显微镜、XRD、气相色谱、X射线荧光光谱、二次离子质谱、电阻率测验仪等。

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